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LI-9x00 no image no image
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ID mebacs-5
メーカー SCREEN
装置名 LI-9×00
年式
ステータス 探しています
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仕様等その他の情報

基本仕様
■露光方式  :二次元変調素子投影描画方式
■光源   :超高圧水銀灯 or  UVランプ
■露光波長  :350~420nm
■適用感材  :上記の露光波長に感度をもつレジスト

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