この商品について

LI-9000H no image no image
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ID mebacs-002
メーカー SCREEN
装置名 LI-9000H
年式 2008年12月
ステータス 売約済
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仕様等その他の情報

基本仕様
■露光方式  :二次元変調素子投影描画方式
■光源   :超高圧水銀灯 5kW(LI-9000H)
■露光波長  :350~420nm
■適用感材  :上記の露光波長に感度をもつレジスト
■最大描画サイズ :LI-9000H         530(W)×650(L)mm
■描画ピッチ  :LI-9000(H) 2μm
■最小線幅(L/S)    :LI-9000(H) 30μm (レジストの特性により異なります)
■描画精度
描画位置精度 :10μm
描画位置再現精度 :5μm
線幅精度 :±2μm

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